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IWAKI半导体用风囊泵

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   易威奇风囊泵

在半导体制造过程中的超净规格用泵,有良好的跟踪记录。波纹管泵寿命长,停机时间短。

所有接液部件都使用氟塑料,它们可以处理用于半导体应用的化学品,如酸、碱和过量的水。泵的外表面涂有氟塑料,因此没有金属零件暴露出来。


特点:
  • 优秀的设计,波纹管使用寿命长。
  • 使用耐化学腐蚀和耐热氟塑料对所有被润湿部件进行无污染设计。
  • 泵头和波纹管焊接成整体结构,消除了流体泄漏的问题。
 
FLP-60W  低脉动气动风囊泵                                      

低脉动
独特的系统驱动机制,确保气囊最佳运动效果,将脉动减到最低。
 
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
 
高持续压力
最佳的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
 
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。

规格

最大流量 L/min 50
最大脉动宽度 MPa 0.06
液体温度范围 °C(MPa)
(最大压缩空气压力)
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3)
压缩空气压力范围 MPa 0.41~0.5 0.31~0.4 0.21~0.3 0.11~0.2 0.1
最高冲程率 spm 120 140 155 160
最大压缩空气消耗量 NL/min 464 419 338 252 116
最大粘度 mPa·S 50
吸程 m 1
环境温度 / 湿度 °C/%RH 0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝)
储存温度 / 湿度 °C/%RH -10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝)
操作方式 间隔 /连续
驱动方式 外部压缩空气
接头尺寸 mm Ø25 x Ø22 软管
压缩空气接头尺寸 Rc3/8
空气端口 Ø6 一触式接头
重量 kg 22
 
 

 
FS 系列  外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵


 
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
 
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利),能显著降低颗粒的产生。
 
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。
 
易于维护
更换开关无需拆卸,不需定期收紧螺栓,减少了停机时间。
 
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。
 
规格:

最大吐出量 55 L/min
最大吐出压力 0.5 MPa
最大耗气量 670 NL/min
最大冲程率 240 spm
主要材质 PTFE, PFA
液体输送温度范围 5 ~ 180 °C
 
 

 
FS-N 系列  适用于各类供药系统,吐出量达100L/min
 

高速冲程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压力工况。
 
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造,使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。
 
高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa,不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求,同时适用于清洗及CMP制程。
 
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。

规格

最大吐出量 100 L/min
最大吐出压力 0.7 MPa
最大耗气量 1495 NL/min
最大冲程率 100 spm
主要材质 PTFE, PFA
液体输送温度范围 5 ~ 60 °C