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YAMADA DP-FE系列

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    DP-FE系列气动隔膜泵                          半导体制程用泵 
 
 

  DP-FE系列型号是一种由内置于泵内的接近传感器驱动的气动隔膜泵。与DP-F系列相比,减少了滑阀式气动驱动单元。

  接近传感器检测隔膜的行程末端,接收到传感器信号的电子控制器来控制中心排气型的3位5通电磁阀,从而驱动泵的往复运动。

  这种驱动方式,动作可靠,即使在低行程时也能发挥泵的稳定的性能。

  可以通过连接到可选计数器来执行行程管理。也可以使用仪器内置的逻辑控制器(PLC)进行操作。


        基本性能参数可参考DP-F系列。

 
控制示意图


 


                                  应用场景

                

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